玉崎包郵日本(běn)TEM-TECH騰泰(tài)克(kè)壓(yā)力(lì)傳(chuán)感(gǎn)器(qì)HYPFZW-005MS3

玉崎(qí)包郵(yóu)日本TEM-TECH騰泰克壓力傳(chuán)感器HYPFZW-005MS3

HYPFZW

集成型(xíng)氣(qì)體(tǐ)麵板用壓(yā)力(lì)傳(chuán)感(gǎn)器(qì)

高精(jīng)度(dù)·對環(huán)境(jìng)變(biàn)化(huà)具有高(gāo)度穩定(dìng)性

接觸氣體部(bù)為麵(miàn)向(xiàng)全(quán)SUS316L氣體麵板壓力傳(chuán)感器1g壓(yā)力(lì):-0.1或

0~0.3.0.5.1MPa電流(liú)/電壓輸出，各(gè)種(zhǒng)集成尺(chǐ)寸的C矽(guī)，W矽接觸

部(bù):SUS316L

用(yòng)於(yú)半導體製造裝置(zhì)氣體麵板

產(chǎn)品(pǐn)介紹(shào)
：

測定流體

半導體(tǐ)工(gōng)藝(yì)氣體

接氣部材質

光圈(quān):SUS316L(VIM+VAR)傳感器單元:SUS316L

測(cè)定範囲(wéi)

0 (-0.1)-0.3，0.5，1MPa

許(xǔ)容限(xiàn)度(dù)壓(yā)力

定格壓力(lì)x2倍

電(diàn)源電壓

DC24V±10%

直流(liú)15~24V

出力信號

4~20mADC(2裸式(shì))

0~5VDC，1~5VDC，0~10VDC(3綫式)

輪(lún)合(hé)精度(dù)

~0.5%FS(直綫(xiàn)性(xìng)，歇(xiē)斯底(dǐ)裏包括(kuò)可再現性)

溫度(dù)補償範囲

0~溫度(dù):不結(jié)冰(bīng)，不(bù)結露

動(dòng)作(zuò)溫(wēn)度範囲

0~80度(無(wú)結冰，無結(jié)露)

溫度特性

+/-0.05%FS/度C(溫(wēn)度(dù)補償(cháng)範圍(wéi)內(nèi))

保護等級

IP55相當(dāng)*室(shì)內(nèi)規格

安裝(zhuāng)螺釘

C矽，W矽

螺(luó)釘尺寸(cùn)

1.125"1.5(請咨詢(xún)其他(tā))

電(diàn)纜取出

可裝卸式多(duō)治見連接器

附(fù)帶(dài)電(diàn)纜(lǎn)

3m標(biāo)準(zhǔn)(2芯+屏蔽(bì)綫(xiàn))

3m標(biāo)準(3芯+屏蔽綫)

密封(fēng)方法

特殊電(diàn)子束焊接

泄漏量

<5x10 12P/秒

內麵精(jīng)細(xì)度(dù)

Ra:<0.25μm以(yǐ)下(xià)

Model: HYPFZW

HYPFZW-010TS2

HYPFZW-010TS1

HYPFZW-010TS3

HYPFZW-010PS1

HYPFZW-010PS2

HYPFZW-010PS3

HYPFZW-010MS1

HYPFZW-010MS2

HYPFZW-010MS3

HYPFZW-005TS2

HYPFZW-005TS1

HYPFZW-005TS3

HYPFZW-005PS1

HYPFZW-005PS2

HYPFZW-005PS3

HYPFZW-005MS1

HYPFZW-005MS2

HYPFZW-005MS3