原(yuán)裝(zhuāng)日本TEM-TECH騰泰克壓力(lì)傳感器(qì)HYPFZW-005MS3

原裝日本TEM-TECH騰泰(tài)克(kè)壓力(lì)傳感器HYPFZW-005MS3

HYPFZW

集成型氣體麵板用(yòng)壓力(lì)傳(chuán)感(gǎn)器

高精度·對環境(jìng)變化具有高(gāo)度(dù)穩定(dìng)性

接(jiē)觸氣體部為(wéi)麵向(xiàng)全SUS316L氣體麵板壓力(lì)傳感(gǎn)器(qì)1g壓力:-0.1或

0~0.3.0.5.1MPa電(diàn)流/電壓(yā)輸(shū)出，各(gè)種集成尺(chǐ)寸的C矽，W矽接(jiē)觸

部(bù):SUS316L

用(yòng)於半導體製造(zào)裝(zhuāng)置氣體麵板

產品介紹：

測定(dìng)流體(tǐ)

半導(dǎo)體工藝氣(qì)體

接(jiē)氣部材(cái)質(zhì)

光圈(quān):SUS316L(VIM+VAR)傳(chuán)感(gǎn)器(qì)單(dān)元:SUS316L

測定範囲

0 (-0.1)-0.3，0.5，1MPa

許容限度壓(yā)力

定(dìng)格(gé)壓(yā)力x2倍(bèi)

電源(yuán)電壓

DC24V±10%

直(zhí)流(liú)15~24V

出(chū)力信號(hào)

4~20mADC(2裸(luǒ)式)

0~5VDC，1~5VDC，0~10VDC(3綫式)

輪合(hé)精(jīng)度

~0.5%FS(直(zhí)綫性，歇斯(sī)底(dǐ)裏包(bāo)括可再(zài)現(xiàn)性)

溫(wēn)度(dù)補(bǔ)償範囲

0~溫(wēn)度:不(bù)結冰，不結露(lòu)

動(dòng)作溫度(dù)範(fàn)囲

0~80度(無(wú)結冰，無(wú)結露)

溫(wēn)度特性

+/-0.05%FS/度(dù)C(溫度(dù)補償範(fàn)圍內(nèi))

保(bǎo)護(hù)等(děng)級

IP55相(xiāng)當(dāng)*室內規格

安裝(zhuāng)螺(luó)釘

C矽，W矽(guī)

螺釘(dīng)尺寸(cùn)

1.125"1.5(請(qǐng)咨(zī)詢其(qí)他(tā))

電纜(lǎn)取出

可裝卸(xiè)式多治(zhì)見連接器

附帶(dài)電(diàn)纜(lǎn)

3m標準(2芯(xīn)+屏蔽綫)

3m標(biāo)準(zhǔn)(3芯+屏蔽綫(xiàn))

密(mì)封(fēng)方法

特殊電子(zǐ)束焊(hàn)接(jiē)

泄漏量(liáng)

<5x10 12P/秒(miǎo)

內(nèi)麵(miàn)精細度(dù)

Ra:<0.25μm以下

Model: HYPFZW

HYPFZW-010TS2

HYPFZW-010TS1

HYPFZW-010TS3

HYPFZW-010PS1

HYPFZW-010PS2

HYPFZW-010PS3

HYPFZW-010MS1

HYPFZW-010MS2

HYPFZW-010MS3

HYPFZW-005TS2

HYPFZW-005TS1

HYPFZW-005TS3

HYPFZW-005PS1

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HYPFZW-005MS1

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