壓(yā)力傳(chuán)感器的(dí)芯體(tǐ)材料(liào)主(zhǔ)要(yào)是穩定(dìng)性方麵的技術要求(qiú)，除了(liǎo)材(cái)料(liào)性(xìng)質(zhì)以外(wài)，還(huán)有版(bǎn)圖(tú)的(dí)設計，加工工(gōng)藝(yì)和裝配(pèi)工藝等(děng)方(fāng)麵(miàn)的要(yào)求。壓力(lì)傳(chuán)感器芯(xīn)體(tǐ)從材料上來(lái)講，主(zhǔ)要有：單晶矽的芯(xīn)體(tǐ)
，多晶矽的芯體
，陶(táo)瓷的芯體(tǐ)
，水晶的(dí)芯體(tǐ)
，金屬的(dí)芯體(tǐ)
，聚酰(xiān)亞胺(àn)的芯體(tǐ)等(děng)等。
　　壓力傳(chuán)感器(qì)的(dí)單(dān)晶矽(guī)芯(xīn)體，單晶矽膜(mó)的(dí)SOI結構，能夠(gòu)承載(zǎi)較高的工(gōng)作(zuò)溫(wēn)度，較(jiào)好(hǎo)的(dí)工作(zuò)靈敏度(dù)，微機(jī)械處理(lǐ)單晶矽(guī)，可以(yǐ)提高穩(wěn)定(dìng)性(xìng)和再(zài)現(xiàn)性(xìng)，消(xiāo)除滯後現(xiàn)象(xiàng)。
　　壓力傳感(gǎn)器(qì)的(dí)多(duō)晶(jīng)矽的(dí)芯體(tǐ)在二氧化矽層(céng)上澱(diàn)積(jī)多(duō)晶矽(guī)膜，既利用了矽優良(liáng)的(dí)機械(xiè)特(tè)性，又(yòu)保(bǎo)證(zhèng)了壓敏(mǐn)電阻與襯底間良好的絕緣性，大(dà)大提(tí)高了器(qì)件(jiàn)的(dí)溫度(dù)特(tè)性。
　　壓力傳感器的陶瓷的芯體超過100萬次(cì)壓力(lì)循(xún)環(huán)，極低的溫度(dù)漂(piāo)移，優良(liáng)的(dí)綫性(xìng)精度，300%的過載(zǎi)壓(yā)力(lì)，綫性精(jīng)度(dù)和過載壓力都(dū)有良好(hǎo)的性能體現。
　　壓力(lì)傳(chuán)感(gǎn)器的(dí)水晶的芯體采(cǎi)用(yòng)音叉型晶體單(dān)元，由此(cǐ)可(kě)以得到(dào)安(ān)定(dìng)度高的(dí)振蕩頻(pín)率(shuài)，從(cóng)而實現(xiàn)了具(jù)有高精度及(jí)高(gāo)分辨能(néng)力(lì)。
　　壓力傳(chuán)感(gǎn)器(qì)采用(yòng)聚酰(xiān)亞胺(àn)的(dí)芯(xīn)體，相對(duì)電(diàn)阻(zǔ)變化(huà)與壓力(lì)呈良(liáng)好(hǎo)的(dí)綫性(xìng)關(guān)係，可以實現(xiàn)較高(gāo)精(jīng)度(dù)的(dí)壓力測(cè)量(liáng)。
　　隨(suí)著(zhuó)傳感器行(háng)業的技術(shù)革新和(hé)發(fā)展(zhǎn)，相(xiāng)信會有更多(duō)的新材(cái)料新工(gōng)藝的(dí)引進,到時壓力傳(chuán)感(gǎn)器的(dí)性能(néng)將有極大的(dí)提高。