玉(yù)崎包(bāo)郵(yóu)日(rì)本(běn)TEM-TECH壓(yā)力(lì)傳感器(qì)HYPFZW-005MS2

玉崎包郵日(rì)本TEM-TECH壓力傳感(gǎn)器(qì)HYPFZW-005MS2

HYPFZW

集(jí)成(chéng)型(xíng)氣(qì)體(tǐ)麵(miàn)板用壓力傳感(gǎn)器

高(gāo)精度(dù)·對環(huán)境變化(huà)具有(yǒu)高度穩定性

接觸(chù)氣體部(bù)為麵向(xiàng)全SUS316L氣(qì)體(tǐ)麵(miàn)板壓力傳感器1g壓力:-0.1或

0~0.3.0.5.1MPa電(diàn)流/電壓(yā)輸(shū)出，各(gè)種(zhǒng)集成尺寸(cùn)的C矽，W矽接觸

部:SUS316L

用於半導體製造裝(zhuāng)置氣體麵板

產(chǎn)品介紹：

測定流體(tǐ)

半導體(tǐ)工藝氣體(tǐ)

接氣部(bù)材質

光圈:SUS316L(VIM+VAR)傳(chuán)感(gǎn)器單元(yuán):SUS316L

測(cè)定範囲(wéi)

0 (-0.1)-0.3，0.5，1MPa

許容限度壓力(lì)

定格(gé)壓力x2倍(bèi)

電(diàn)源電(diàn)壓

DC24V±10%

直(zhí)流15~24V

出力信號(hào)

4~20mADC(2裸(luǒ)式)

0~5VDC，1~5VDC，0~10VDC(3綫式(shì))

輪合(hé)精度

~0.5%FS(直(zhí)綫性，歇斯底裏(lǐ)包括可再現(xiàn)性)

溫(wēn)度(dù)補償範囲

0~溫(wēn)度(dù):不(bù)結冰，不結(jié)露

動作溫(wēn)度範囲(wéi)

0~80度(dù)(無結冰，無(wú)結露)

溫(wēn)度(dù)特(tè)性

+/-0.05%FS/度(dù)C(溫(wēn)度(dù)補償(cháng)範圍內)

保(bǎo)護(hù)等級(jí)

IP55相當*室內(nèi)規(guī)格

安裝螺釘(dīng)

C矽，W矽

螺(luó)釘(dīng)尺(chǐ)寸

1.125"1.5(請(qǐng)咨(zī)詢其他)

電(diàn)纜取出(chū)

可(kě)裝卸式(shì)多(duō)治見(jiàn)連(lián)接器(qì)

附帶電纜(lǎn)

3m標準(2芯+屏蔽(bì)綫)

3m標準(3芯+屏蔽綫(xiàn))

密封(fēng)方法(fǎ)

特殊電子束焊(hàn)接(jiē)

泄漏量(liáng)

<5x10 12P/秒

內(nèi)麵精(jīng)細度

Ra:<0.25μm以(yǐ)下(xià)

Model: HYPFZW

HYPFZW-010TS2

HYPFZW-010TS1

HYPFZW-010TS3

HYPFZW-010PS1

HYPFZW-010PS2

HYPFZW-010PS3

HYPFZW-010MS1

HYPFZW-010MS2

HYPFZW-010MS3

HYPFZW-005TS2

HYPFZW-005TS1

HYPFZW-005TS3

HYPFZW-005PS1

HYPFZW-005PS2

HYPFZW-005PS3

HYPFZW-005MS1

HYPFZW-005MS2

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