原裝(zhuāng)TEM-TECH壓力傳(chuán)感(gǎn)器半導體製(zhì)造設備用HYPFZW-010MS3

原(yuán)裝(zhuāng)TEM-TECH壓力傳感(gǎn)器(qì)半導體製(zhì)造設(shè)備用(yòng)HYPFZW-010MS3

HYPFZW

集(jí)成型氣體麵板(bǎn)用壓力(lì)傳感器(qì)

高(gāo)精(jīng)度·對環(huán)境(jìng)變(biàn)化(huà)具有高(gāo)度穩(wěn)定性

接(jiē)觸(chù)氣體(tǐ)部為麵向全(quán)SUS316L氣(qì)體(tǐ)麵(miàn)板壓力傳感器1g壓(yā)力:-0.1或

0~0.3.0.5.1MPa電流(liú)/電(diàn)壓(yā)輸出(chū)，各種(zhǒng)集(jí)成(chéng)尺(chǐ)寸(cùn)的(dí)C矽(guī)，W矽接觸(chù)

部:SUS316L

用於(yú)半導體製造(zào)裝(zhuāng)置(zhì)氣體(tǐ)麵(miàn)板(bǎn)

產品介紹：

測(cè)定流體

半導(dǎo)體(tǐ)工(gōng)藝(yì)氣(qì)體

接氣部材質

光(guāng)圈:SUS316L(VIM+VAR)傳(chuán)感(gǎn)器單元:SUS316L

測定範(fàn)囲

0 (-0.1)-0.3，0.5，1MPa

許容限(xiàn)度壓力

定格壓(yā)力x2倍

電源電壓

DC24V±10%

直(zhí)流15~24V

出(chū)力(lì)信號

4~20mADC(2裸式)

0~5VDC，1~5VDC，0~10VDC(3綫(xiàn)式)

輪合精(jīng)度

~0.5%FS(直(zhí)綫性，歇(xiē)斯底(dǐ)裏包(bāo)括可(kě)再(zài)現(xiàn)性(xìng))

溫度(dù)補償(cháng)範(fàn)囲

0~溫度(dù):不結冰，不(bù)結露(lòu)

動作(zuò)溫度範囲(wéi)

0~80度(無結冰，無(wú)結(jié)露)

溫度特性(xìng)

+/-0.05%FS/度C(溫度(dù)補償(cháng)範(fàn)圍(wéi)內(nèi))

保護等(děng)級

IP55相(xiāng)當*室內規(guī)格

安裝螺(luó)釘

C矽，W矽

螺釘(dīng)尺寸

1.125"1.5(請咨(zī)詢(xún)其(qí)他)

電(diàn)纜(lǎn)取出(chū)

可(kě)裝卸式多(duō)治見連接器

附帶(dài)電纜

3m標準(2芯+屏蔽綫(xiàn))

3m標準(3芯+屏蔽(bì)綫)

密封方法

特殊電(diàn)子束焊(hàn)接

泄(xiè)漏量(liáng)

<5x10 12P/秒

內麵精(jīng)細度

Ra:<0.25μm以(yǐ)下(xià)

Model: HYPFZW

HYPFZW-420TS2

HYPFZW-420TS1

HYPFZW-420TS3

HYPFZW-420PS1

HYPFZW-420PS2

HYPFZW-420PS3

HYPFZW-420MS1

HYPFZW-420MS2

HYPFZW-420MS3

HYPFZW-105TS2

HYPFZW-105TS1