原(yuán)裝(zhuāng)TEM-TECH壓力(lì)傳(chuán)感器半導體製(zhì)造設備(bèi)用(yòng)HYPFZW-010MS1

原裝(zhuāng)TEM-TECH壓(yā)力(lì)傳感器半導體(tǐ)製造設備用HYPFZW-010MS1

HYPFZW

集(jí)成(chéng)型(xíng)氣(qì)體(tǐ)麵(miàn)板(bǎn)用(yòng)壓(yā)力(lì)傳感器

高(gāo)精度(dù)·對(duì)環境變化具有高(gāo)度(dù)穩(wěn)定性(xìng)

接觸(chù)氣體部(bù)為麵向全SUS316L氣體(tǐ)麵板(bǎn)壓力(lì)傳(chuán)感(gǎn)器(qì)1g壓(yā)力(lì):-0.1或

0~0.3.0.5.1MPa電流(liú)/電壓(yā)輸(shū)出(chū)，各種(zhǒng)集成尺寸(cùn)的C矽，W矽(guī)接觸(chù)

部:SUS316L

用於半(bàn)導(dǎo)體製造裝置氣(qì)體麵(miàn)板

產品介(jiè)紹：

測定(dìng)流(liú)體

半導(dǎo)體工(gōng)藝氣(qì)體(tǐ)

接氣(qì)部(bù)材質

光(guāng)圈(quān):SUS316L(VIM+VAR)傳(chuán)感(gǎn)器(qì)單元(yuán):SUS316L

測(cè)定(dìng)範(fàn)囲

0 (-0.1)-0.3，0.5，1MPa

許(xǔ)容(róng)限(xiàn)度(dù)壓(yā)力

定(dìng)格壓(yā)力x2倍

電(diàn)源(yuán)電壓(yā)

DC24V±10%

直流15~24V

出(chū)力信號(hào)

4~20mADC(2裸(luǒ)式(shì))

0~5VDC，1~5VDC，0~10VDC(3綫(xiàn)式(shì))

輪合(hé)精度

~0.5%FS(直(zhí)綫(xiàn)性(xìng)，歇斯(sī)底裏包括可(kě)再(zài)現性(xìng))

溫度(dù)補償(cháng)範囲

0~溫度(dù):不結(jié)冰(bīng)，不結露

動作溫度範(fàn)囲(wéi)

0~80度(無(wú)結(jié)冰，無結(jié)露(lòu))

溫度特性

+/-0.05%FS/度C(溫度(dù)補(bǔ)償(cháng)範(fàn)圍內)

保(bǎo)護等(děng)級(jí)

IP55相當*室內規(guī)格(gé)

安裝(zhuāng)螺釘

C矽，W矽

螺釘尺(chǐ)寸(cùn)

1.125"1.5(請咨(zī)詢其他(tā))

電纜(lǎn)取(qǔ)出

可(kě)裝卸式多治見(jiàn)連(lián)接器

附帶電纜(lǎn)

3m標(biāo)準(2芯(xīn)+屏(píng)蔽綫)

3m標準(3芯(xīn)+屏蔽綫(xiàn))

密(mì)封(fēng)方(fāng)法(fǎ)

特(tè)殊(shū)電子束焊接

泄(xiè)漏量

<5x10 12P/秒

內(nèi)麵精細度(dù)

Ra:<0.25μm以下(xià)

Model: HYPFZW

HYPFZW-420TS2

HYPFZW-420TS1

HYPFZW-420TS3

HYPFZW-420PS1

HYPFZW-420PS2

HYPFZW-420PS3

HYPFZW-420MS1

HYPFZW-420MS2

HYPFZW-420MS3

HYPFZW-105TS2

HYPFZW-105TS1