玉崎TEM-TECH壓力傳感器半導體(tǐ)製(zhì)造設備(bèi)用HYPFZW-005TS2

玉崎(qí)TEM-TECH壓(yā)力(lì)傳感(gǎn)器半導體製(zhì)造(zào)設(shè)備用(yòng)HYPFZW-005TS2

HYPFZW

集(jí)成型(xíng)氣(qì)體(tǐ)麵板(bǎn)用(yòng)壓力(lì)傳感(gǎn)器(qì)

高精(jīng)度·對環境變化(huà)具(jù)有(yǒu)高度(dù)穩(wěn)定(dìng)性

接觸氣體(tǐ)部(bù)為麵向全SUS316L氣(qì)體(tǐ)麵板(bǎn)壓(yā)力傳感器(qì)1g壓(yā)力(lì):-0.1或

0~0.3.0.5.1MPa電流/電壓輸出(chū)
，各種(zhǒng)集成尺(chǐ)寸的C矽
，W矽(guī)接(jiē)觸(chù)

部:SUS316L

用於(yú)半導體(tǐ)製(zhì)造裝置氣體麵板(bǎn)

產(chǎn)品介紹(shào)：

測定流體(tǐ)

半導體(tǐ)工藝氣(qì)體

接氣部材質(zhì)

光(guāng)圈:SUS316L(VIM+VAR)傳感(gǎn)器單元(yuán):SUS316L

測定(dìng)範(fàn)囲(wéi)

0 (-0.1)-0.3
，0.5
，1MPa

許(xǔ)容(róng)限度壓力

定格壓力(lì)x2倍

電源電壓(yā)

DC24V±10%

直(zhí)流(liú)15~24V

出(chū)力(lì)信(xìn)號(hào)

4~20mADC(2裸式)

0~5VDC
，1~5VDC
，0~10VDC(3綫(xiàn)式)

輪(lún)合精度

~0.5%FS(直(zhí)綫性(xìng)
，歇斯底(dǐ)裏(lǐ)包括(kuò)可再現性(xìng))

溫(wēn)度補(bǔ)償(cháng)範囲(wéi)

0~溫度:不結冰
，不結露

動作(zuò)溫度(dù)範(fàn)囲(wéi)

0~80度(無結冰(bīng)
，無結(jié)露)

溫度(dù)特性

+/-0.05%FS/度(dù)C(溫度補償範(fàn)圍內)

保(bǎo)護等級

IP55相(xiāng)當(dāng)*室內(nèi)規格

安裝螺(luó)釘

C矽(guī)
，W矽(guī)

螺釘尺(chǐ)寸

1.125"1.5(請咨詢(xún)其他(tā))

電(diàn)纜取(qǔ)出

可(kě)裝卸式多治見(jiàn)連接器(qì)

附(fù)帶電(diàn)纜(lǎn)

3m標(biāo)準(2芯(xīn)+屏(píng)蔽綫)

3m標準(3芯+屏蔽(bì)綫(xiàn))

密(mì)封(fēng)方法

特殊電(diàn)子束(shù)焊(hàn)接(jiē)

泄(xiè)漏(lòu)量(liáng)

<5x10 12P/秒

內麵精細(xì)度

Ra:<0.25μm以下

Model: HYPFZW

HYPFZW-420TS2

HYPFZW-420TS1

HYPFZW-420TS3

HYPFZW-420PS1

HYPFZW-420PS2

HYPFZW-420PS3

HYPFZW-420MS1

HYPFZW-420MS2

HYPFZW-420MS3

HYPFZW-105TS2

HYPFZW-105TS1