日本TEM-TECH穩(wěn)定性(xìng)好壓力傳(chuán)感器HYPFZW-105MS1 

日本TEM-TECH穩(wěn)定(dìng)性好壓(yā)力(lì)傳感器HYPFZW-105MS1 

HYPFZW

集成型氣體麵板(bǎn)用(yòng)壓力(lì)傳(chuán)感器

高精度(dù)·對(duì)環(huán)境變化具(jù)有高(gāo)度(dù)穩定(dìng)性

接觸(chù)氣(qì)體部(bù)為(wéi)麵向全(quán)SUS316L氣(qì)體(tǐ)麵板(bǎn)壓力(lì)傳(chuán)感器1g壓(yā)力:-0.1或

0~0.3.0.5.1MPa電流/電(diàn)壓(yā)輸出(chū)
，各種集(jí)成尺(chǐ)寸(cùn)的(dí)C矽，W矽接(jiē)觸

部:SUS316L

用(yòng)於(yú)半導(dǎo)體(tǐ)製(zhì)造裝置氣體(tǐ)麵板

產品介(jiè)紹(shào)：

測定流(liú)體

半導體工藝氣(qì)體

接(jiē)氣部(bù)材(cái)質

光(guāng)圈:SUS316L(VIM+VAR)傳感(gǎn)器(qì)單元:SUS316L

測定(dìng)範囲(wéi)

0 (-0.1)-0.3，0.5，1MPa

許(xǔ)容限(xiàn)度壓力

定格壓(yā)力x2倍

電源電(diàn)壓(yā)

DC24V±10%

直(zhí)流15~24V

出(chū)力(lì)信(xìn)號(hào)

4~20mADC(2裸(luǒ)式)

0~5VDC，1~5VDC，0~10VDC(3綫式)

輪合精(jīng)度(dù)

~0.5%FS(直綫性，歇(xiē)斯(sī)底(dǐ)裏(lǐ)包括可再現性(xìng))

溫度補償範囲(wéi)

0~溫(wēn)度(dù):不結冰，不結露

動作溫(wēn)度(dù)範(fàn)囲

0~80度(無(wú)結(jié)冰，無結露(lòu))

溫度(dù)特(tè)性

+/-0.05%FS/度(dù)C(溫(wēn)度補償範(fàn)圍內(nèi))

保護等級

IP55相當(dāng)*室(shì)內規格

安裝螺釘

C矽(guī)，W矽

螺釘(dīng)尺(chǐ)寸

1.125"1.5(請(qǐng)咨詢其他(tā))

電(diàn)纜(lǎn)取出

可裝卸式多(duō)治(zhì)見(jiàn)連(lián)接器

附帶(dài)電(diàn)纜

3m標準(2芯+屏(píng)蔽綫)

3m標(biāo)準(zhǔn)(3芯+屏(píng)蔽(bì)綫)

密(mì)封方(fāng)法(fǎ)

特殊電子束焊(hàn)接

泄(xiè)漏(lòu)量(liáng)

<5x10 12P/秒

內(nèi)麵精(jīng)細(xì)度(dù)

Ra:<0.25μm以下

Model: HYPFZW

HYPFZW-420TS2

HYPFZW-420TS1

HYPFZW-420TS3

HYPFZW-420PS1

HYPFZW-420PS2

HYPFZW-420PS3

HYPFZW-420MS1

HYPFZW-420MS2

HYPFZW-420MS3

HYPFZW-105TS2

HYPFZW-105TS1