日本TEM-TECH穩定(dìng)性好壓力傳感器HYPFZW-105PS1

日本(běn)TEM-TECH穩定(dìng)性(xìng)好(hǎo)壓力傳感器(qì)HYPFZW-105PS1

HYPFZW

集(jí)成(chéng)型(xíng)氣體(tǐ)麵(miàn)板用壓(yā)力傳(chuán)感(gǎn)器

高精度(dù)·對(duì)環境(jìng)變(biàn)化(huà)具(jù)有高度穩(wěn)定(dìng)性(xìng)

接(jiē)觸氣(qì)體部(bù)為麵向(xiàng)全SUS316L氣(qì)體(tǐ)麵(miàn)板(bǎn)壓力(lì)傳感器1g壓(yā)力:-0.1或

0~0.3.0.5.1MPa電流/電壓輸(shū)出(chū)，各種集成(chéng)尺(chǐ)寸的C矽，W矽(guī)接(jiē)觸(chù)

部:SUS316L

用於半導(dǎo)體製(zhì)造裝置氣體(tǐ)麵板(bǎn)

產(chǎn)品介(jiè)紹
：

測定(dìng)流體

半導體工藝氣體

接氣部(bù)材質

光(guāng)圈:SUS316L(VIM+VAR)傳感器單元:SUS316L

測(cè)定(dìng)範(fàn)囲

0 (-0.1)-0.3，0.5，1MPa

許容(róng)限度壓(yā)力

定格(gé)壓力x2倍

電源電壓(yā)

DC24V±10%

直流(liú)15~24V

出(chū)力(lì)信號(hào)

4~20mADC(2裸式)

0~5VDC，1~5VDC，0~10VDC(3綫式)

輪(lún)合精(jīng)度

~0.5%FS(直綫性(xìng)，歇斯(sī)底(dǐ)裏包括(kuò)可(kě)再現性)

溫度補償(cháng)範(fàn)囲

0~溫度:不結冰，不結(jié)露

動作(zuò)溫度範囲(wéi)

0~80度(無結冰(bīng)，無(wú)結(jié)露(lòu))

溫(wēn)度(dù)特(tè)性(xìng)

+/-0.05%FS/度(dù)C(溫(wēn)度補償範(fàn)圍內(nèi))

保護(hù)等級

IP55相(xiāng)當*室內規格(gé)

安(ān)裝(zhuāng)螺(luó)釘(dīng)

C矽，W矽

螺釘(dīng)尺寸(cùn)

1.125"1.5(請(qǐng)咨詢其(qí)他)

電纜取出

可裝卸式多治見連(lián)接器(qì)

附帶電纜(lǎn)

3m標(biāo)準(zhǔn)(2芯(xīn)+屏蔽綫)

3m標(biāo)準(3芯(xīn)+屏蔽綫(xiàn))

密封方法(fǎ)

特(tè)殊電(diàn)子束(shù)焊(hàn)接

泄漏(lòu)量(liáng)

<5x10 12P/秒(miǎo)

內麵精(jīng)細(xì)度

Ra:<0.25μm以(yǐ)下

Model: HYPFZW

HYPFZW-420TS2

HYPFZW-420TS1

HYPFZW-420TS3

HYPFZW-420PS1

HYPFZW-420PS2

HYPFZW-420PS3

HYPFZW-420MS1

HYPFZW-420MS2

HYPFZW-420MS3

HYPFZW-105TS2

HYPFZW-105TS1