日本(běn)TEM-TECH精(jīng)度(dù)高(gāo)壓力(lì)傳感(gǎn)器(qì)HYPFZW-420MS2

日本TEM-TECH精(jīng)度高壓力傳感器HYPFZW-420MS2

HYPFZW

集(jí)成(chéng)型氣(qì)體(tǐ)麵(miàn)板用(yòng)壓(yā)力傳感器

高精度(dù)·對環境(jìng)變化(huà)具(jù)有高(gāo)度(dù)穩定性

接觸(chù)氣體部為麵向全SUS316L氣(qì)體麵(miàn)板壓(yā)力(lì)傳感器(qì)1g壓力:-0.1或

0~0.3.0.5.1MPa電流/電壓輸出，各(gè)種集成(chéng)尺寸的C矽，W矽(guī)接(jiē)觸

部:SUS316L

用(yòng)於(yú)半導(dǎo)體製造裝置(zhì)氣(qì)體麵板(bǎn)

產品(pǐn)介紹(shào)：

測(cè)定(dìng)流(liú)體(tǐ)

半(bàn)導(dǎo)體工(gōng)藝(yì)氣體

接氣部材(cái)質(zhì)

光圈:SUS316L(VIM+VAR)傳感器(qì)單(dān)元:SUS316L

測定範囲(wéi)

0 (-0.1)-0.3，0.5，1MPa

許容(róng)限(xiàn)度(dù)壓力(lì)

定(dìng)格壓力(lì)x2倍(bèi)

電源(yuán)電壓

DC24V±10%

直(zhí)流15~24V

出(chū)力信號(hào)

4~20mADC(2裸式)

0~5VDC，1~5VDC，0~10VDC(3綫(xiàn)式(shì))

輪合(hé)精(jīng)度(dù)

~0.5%FS(直綫性，歇斯(sī)底裏包括可(kě)再(zài)現性)

溫度(dù)補償(cháng)範囲(wéi)

0~溫度(dù):不結冰，不結(jié)露(lòu)

動作溫(wēn)度範囲(wéi)

0~80度(無(wú)結(jié)冰，無(wú)結露(lòu))

溫度(dù)特性(xìng)

+/-0.05%FS/度C(溫度(dù)補償範圍內)

保護等(děng)級(jí)

IP55相(xiāng)當(dāng)*室(shì)內(nèi)規(guī)格

安裝(zhuāng)螺釘(dīng)

C矽，W矽

螺釘尺寸(cùn)

1.125"1.5(請咨(zī)詢其(qí)他)

電(diàn)纜取(qǔ)出

可裝卸式多治見連(lián)接器

附(fù)帶電(diàn)纜

3m標準(zhǔn)(2芯+屏(píng)蔽綫)

3m標準(zhǔn)(3芯+屏(píng)蔽(bì)綫)

密封方法(fǎ)

特殊(shū)電(diàn)子束(shù)焊接(jiē)

泄漏量(liáng)

<5x10 12P/秒(miǎo)

內麵(miàn)精細度(dù)

Ra:<0.25μm以下(xià)

Model: HYPFZW

HYPFZW-420TS2

HYPFZW-420TS1

HYPFZW-420TS3

HYPFZW-420PS1

HYPFZW-420PS2

HYPFZW-420PS3

HYPFZW-420MS1

HYPFZW-420MS2

HYPFZW-420MS3

HYPFZW-105TS2

HYPFZW-105TS1