TEM-TECH用(yòng)於集(jí)成(chéng)燃氣麵板的壓力傳(chuán)感(gǎn)器HYPFZW-420MS1

TEM-TECH用於(yú)集(jí)成(chéng)燃氣麵板(bǎn)的(dí)壓力(lì)傳感(gǎn)器(qì)HYPFZW-420MS1

HYPFZW

集(jí)成型(xíng)氣體麵(miàn)板(bǎn)用(yòng)壓(yā)力傳(chuán)感器

高精度(dù)·對環境變化具有高度穩(wěn)定(dìng)性(xìng)

接觸(chù)氣體(tǐ)部為麵向(xiàng)全SUS316L氣體(tǐ)麵(miàn)板(bǎn)壓(yā)力傳(chuán)感(gǎn)器(qì)1g壓(yā)力:-0.1或

0~0.3.0.5.1MPa電流/電壓輸出，各種集成(chéng)尺寸的C矽，W矽接觸(chù)

部(bù):SUS316L

用於半(bàn)導體(tǐ)製造(zào)裝置氣體(tǐ)麵板

產品介紹
：

測(cè)定流(liú)體

半(bàn)導(dǎo)體工藝氣(qì)體

接氣(qì)部(bù)材(cái)質

光(guāng)圈:SUS316L(VIM+VAR)傳(chuán)感(gǎn)器單元:SUS316L

測定範(fàn)囲(wéi)

0 (-0.1)-0.3，0.5，1MPa

許(xǔ)容限(xiàn)度壓力(lì)

定(dìng)格壓力(lì)x2倍

電(diàn)源電壓(yā)

DC24V±10%

直流(liú)15~24V

出(chū)力(lì)信號(hào)

4~20mADC(2裸式(shì))

0~5VDC，1~5VDC，0~10VDC(3綫式(shì))

輪(lún)合精(jīng)度

~0.5%FS(直綫(xiàn)性，歇斯(sī)底裏(lǐ)包括可再(zài)現性(xìng))

溫(wēn)度(dù)補償(cháng)範囲(wéi)

0~溫(wēn)度:不(bù)結冰，不(bù)結露

動(dòng)作溫(wēn)度範囲(wéi)

0~80度(無結冰(bīng)，無結露(lòu))

溫度特(tè)性

+/-0.05%FS/度(dù)C(溫(wēn)度補(bǔ)償範(fàn)圍內(nèi))

保護等(děng)級

IP55相當*室內規格

安(ān)裝螺(luó)釘(dīng)

C矽，W矽

螺釘(dīng)尺(chǐ)寸

1.125"1.5(請(qǐng)咨(zī)詢其他)

電(diàn)纜取出(chū)

可裝卸(xiè)式多(duō)治(zhì)見連接器(qì)

附帶電纜

3m標準(2芯+屏蔽綫)

3m標(biāo)準(3芯(xīn)+屏(píng)蔽綫(xiàn))

密封方法(fǎ)

特殊電(diàn)子束(shù)焊(hàn)接

泄漏量

<5x10 12P/秒

內(nèi)麵精細(xì)度

Ra:<0.25μm以(yǐ)下

Model: HYPFZW

HYPFZW-420TS2

HYPFZW-420TS1

HYPFZW-420TS3

HYPFZW-420PS1

HYPFZW-420PS2

HYPFZW-420PS3

HYPFZW-420MS1

HYPFZW-420MS2

HYPFZW-420MS3

HYPFZW-105TS2

HYPFZW-105TS1