日本(běn)TEM-TECH集成燃(rán)氣(qì)麵(miàn)板的(dí)壓力傳感器(qì)HYPFZW-005PS2

日本TEM-TECH集成(chéng)燃氣麵板(bǎn)的(dí)壓力傳感(gǎn)器HYPFZW-005PS2

HYPFZW

集(jí)成(chéng)型(xíng)氣(qì)體(tǐ)麵(miàn)板用(yòng)壓力傳(chuán)感(gǎn)器

高精度(dù)·對(duì)環境變化具有高度(dù)穩定(dìng)性(xìng)

接觸氣(qì)體(tǐ)部為(wéi)麵向(xiàng)全SUS316L氣體麵(miàn)板壓力傳(chuán)感器(qì)1g壓(yā)力:-0.1或

0~0.3.0.5.1MPa電(diàn)流/電(diàn)壓輸(shū)出，各種(zhǒng)集成(chéng)尺寸(cùn)的C矽，W矽(guī)接(jiē)觸

部:SUS316L

用於半導(dǎo)體(tǐ)製(zhì)造(zào)裝(zhuāng)置(zhì)氣體麵板

產(chǎn)品(pǐn)介紹：

測(cè)定流體

半(bàn)導體工(gōng)藝氣體

接氣部材質

光圈:SUS316L(VIM+VAR)傳(chuán)感(gǎn)器單(dān)元:SUS316L

測定範囲(wéi)

0 (-0.1)-0.3，0.5，1MPa

許容限(xiàn)度壓力(lì)

定格(gé)壓力x2倍(bèi)

電源電壓

DC24V±10%

直流15~24V

出力(lì)信號

4~20mADC(2裸式)

0~5VDC，1~5VDC，0~10VDC(3綫(xiàn)式(shì))

輪合(hé)精(jīng)度

~0.5%FS(直綫性，歇斯底裏包括可再(zài)現(xiàn)性)

溫(wēn)度補(bǔ)償範囲(wéi)

0~溫度:不結(jié)冰，不結露

動作(zuò)溫度(dù)範囲

0~80度(無(wú)結(jié)冰(bīng)，無(wú)結(jié)露)

溫度特性

+/-0.05%FS/度(dù)C(溫(wēn)度(dù)補償範圍內)

保(bǎo)護(hù)等級(jí)

IP55相當(dāng)*室內規(guī)格(gé)

安(ān)裝螺釘(dīng)

C矽(guī)，W矽

螺(luó)釘尺寸

1.125"1.5(請(qǐng)咨詢其(qí)他)

電纜(lǎn)取(qǔ)出(chū)

可裝卸式多治見連接器

附(fù)帶電(diàn)纜

3m標準(zhǔn)(2芯(xīn)+屏蔽綫(xiàn))

3m標(biāo)準(3芯+屏蔽(bì)綫(xiàn))

密(mì)封方(fāng)法(fǎ)

特(tè)殊電子束焊接

泄(xiè)漏量

<5x10 12P/秒

內麵精細度

Ra:<0.25μm以下(xià)

Model: HYPFZW

HYPFZW-420TS2

HYPFZW-420TS1

HYPFZW-420TS3

HYPFZW-420PS1

HYPFZW-420PS2

HYPFZW-420PS3

HYPFZW-420MS1

HYPFZW-420MS2

HYPFZW-420MS3

HYPFZW-105TS2

HYPFZW-105TS1