膜(mó)厚(hòu)計(jì)可分為接(jiē)觸式，非接觸式(shì)，斷麵觀察(chá)式三(sān)種。

1.接觸(chù)式(shì)膜厚(hòu)計

在接觸式(shì)膜厚計中，傳(chuán)感(gǎn)器(qì)部(bù)和(hé)膜(mó)厚計主(zhǔ)體(tǐ)通過(guò)電纜(lǎn)連接，通過(guò)使(shǐ)傳(chuán)感器部與(yǔ)測量對(duì)象物接觸(chù)來測量(liáng)膜厚(hòu)。接觸(chù)式(shì)膜厚(hòu)計有(yǒu)電(diàn)磁感應式，過流式，超聲(shēng)波式(shì)，觸針(zhēn)式等。它是最(zuì)正統的膜(mó)厚計，根(gēn)據(jù)性能的(dí)不同，可以(yǐ)以(yǐ)數萬日(rì)元到20萬日(rì)元的價格(gé)購(gòu)買。

接(jiē)觸(chù)式(shì)膜(mó)厚計使用(yòng)方便(biàn)，通過將傳(chuán)感(gǎn)器(qì)部分接觸到(dào)想要測(cè)量(liáng)的(dí)物質(zhì)來顯示(shì)數值。但(dàn)是，由於(yú)反應(yīng)速(sù)度(dù)因物(wù)質(zhì)而異，因此傳感(gǎn)器(qì)部(bù)分(fēn)可(kě)能(néng)需要等待(dài)幾(jī)秒(miǎo)鐘(zhōng)才(cái)能(néng)反應(yīng)。當使(shǐ)用(yòng)接(jiē)觸式(shì)膜厚計(jì)，電磁感應(yīng)式(shì)和(hé)過電流(liú)式時(shí)，需要根(gēn)據(jù)形(xíng)成測(cè)量目標(biāo)的基板(bǎn)來使(shǐ)用它們(mén)。

電(diàn)磁感應(yīng)型(xíng)用(yòng)於鋼鐵(tiě)等磁(cí)性材料，過電流(liú)型(xíng)用於(yú)鋁(lǚ)，不(bù)鏽鋼等(děng)非磁性材料(liào)。此(cǐ)外(wài)，還提(tí)供(gōng)使用(yòng)兩(liǎng)種方法進(jìn)行(háng)測(cè)量的(dí)雙型，並(bìng)且通過(guò)雙(shuāng)型(xíng)，可以測量磁性和(hé)非磁(cí)性材(cái)料。

2.非接觸式膜厚(hòu)計

非接觸(chù)式(shì)膜厚(hòu)計通過(guò)從膜厚計本身發(fā)射(shè)光並檢測從膜表麵(miàn)反射(shè)的光(guāng)和穿透(tòu)膜的光的波長幹(gān)涉作為光譜(pǔ)來(lái)測量膜(mó)厚(hòu)。基本上，它們用於(yú)人(rén)們無法(fǎ)觸及(jí)的地(dì)方(fāng)，包括反射光(guāng)譜型，紅外型(xíng)，電(diàn)容(róng)型和輻射型(xíng)。由於檢測部(bù)分采(cǎi)用(yòng)高精度(dù)半導體元件，因(yīn)此比(bǐ)接(jiē)觸式成本(běn)更高。

3.斷麵(miàn)觀(guān)察(chá)式膜(mó)厚計(jì)

截(jié)麵(miàn)觀察(chá)式膜(mó)厚(hòu)計(jì)是(shì)TEM，SEM等(děng)電子顯(xiǎn)微(wēi)鏡。它(tā)用於測量無(wú)法使用接觸(chù)或(huò)非接觸(chù)方法(fǎ)測(cè)量的極(jí)小(xiǎo)物質(zhì)。然而(ér)，它(tā)通(tōng)常(cháng)用於研(yán)究和技術(shù)開發，很(hěn)少在現場(cháng)使(shǐ)用(yòng)。