膜厚計的測量(liáng)方法有多種(zhǒng)，根據測(cè)量對(duì)象使用合適的裝置。以(yǐ)下五種方法(fǎ)具(jù)有代表性。

1，光譜(pǔ)幹涉膜(mó)厚(hòu)儀

這是(shì)利(lì)用光幹涉的膜厚計。當(dāng)光綫進入(rù)待(dài)測物體(tǐ)時(shí)，會(huì)在薄膜(mó)的正(zhèng)麵和背麵發生(shēng)反(fǎn)射。這(zhè)兩(liǎng)個(gè)反(fǎn)射(shè)光(guāng)之間存在相(xiāng)移，並且(qiě)該相(xiāng)移的發生取決(jué)於薄膜(mó)的厚度。當(dāng)波同相位重(zhòng)疊(dié)時，它們會相互增(zēng)強，而當它們以相(xiāng)反(fǎn)相位重疊時，它們(mén)會相互(hù)減弱，因(yīn)此(cǐ)可以通(tōng)過測(cè)量這種(zhǒng)幹涉差來測(cè)量(liáng)厚度。

2，紅外膜(mó)厚(hòu)儀(yí)

這是利(lì)用(yòng)紅外綫(xiàn)被(bèi)測(cè)量對象(xiàng)物吸(xī)收的(dí)原理的膜厚計(jì)。當(dāng)用紅(hóng)外(wài)綫照(zhào)射(shè)待測(cè)物體(tǐ)時(shí)，根據待(dài)測(cè)物(wù)體的材料(liào)和厚(hòu)度，特(tè)定(dìng)波(bō)長的紅(hóng)外綫被吸收。該特(tè)性(xìng)用(yòng)於根(gēn)據通過劃分透(tòu)射(shè)光(guāng)或(huò)反射光(guāng)獲得的光(guāng)譜來(lái)測量(liáng)薄(báo)膜(mó)厚度。通過預(yù)先測(cè)量被(bèi)測材料的吸(xī)收率與膜(mó)厚(hòu)的關(guān)係，可以(yǐ)計算(suàn)出(chū)被測材(cái)料(liào)的膜厚。

3，電(diàn)磁(cí)膜厚計

這(zhè)是(shì)利用磁通(tōng)密(mì)度(dù)變(biàn)化的膜(mó)厚(hòu)計(jì)。這是當(dāng)測量目標形成在磁性金(jīn)屬表(biǎo)麵(miàn)上時(shí)使用的(dí)測量方法，磁(cí)通(tōng)量(liáng)是(shì)利(lì)用(yòng)密(mì)度變(biàn)化(huà)這(zhè)一(yī)事實的(dí)。但隻有(yǒu)當(dāng)被測物(wù)體與金屬(shǔ)接(jiē)觸(chù)時才能(néng)使(shǐ)用，且(qiě)被(bèi)測(cè)物體(tǐ)不是金屬。

4.渦(wō)流膜厚計

渦(wō)流(liú)膜厚(hòu)計利(lì)用綫(xiàn)圈產生的磁通量的(dí)變(biàn)化(huà)來測量被測物(wù)體的厚(hòu)度(dù)。通電(diàn)的(dí)綫(xiàn)圈(quān)周圍會(huì)產(chǎn)生磁通(tōng)，當綫圈(quān)靠近被(bèi)測量物(wù)時，磁通(tōng)會根據被測量(liáng)物(wù)的厚(hòu)度而(ér)變化(huà)。通過檢測該磁通(tōng)量(liáng)的變(biàn)化(huà)來測量被測物(wù)體(tǐ)的厚度(dù)。

5，超(chāo)聲波膜(mó)厚(hòu)計

超聲(shēng)波(bō)膜厚(hòu)計(jì)是利(lì)用超聲波反射的膜厚(hòu)計(jì)。當(dāng)超聲波從(cóng)被(bèi)測物體的(dí)表(biǎo)麵發(fā)射(shè)時(shí)，它(tā)會穿過(guò)物體的(dí)內部並從(cóng)背麵反(fǎn)射。可以(yǐ)根據反(fǎn)射發(fā)生所(suǒ)需的時(shí)間(jiān)來測(cè)量厚度。

例如，在(zài)測(cè)量玻璃等(děng)透(tòu)明薄(báo)膜(mó)的厚(hòu)度時(shí)，使用使(shǐ)用(yòng)寬帶光(guāng)的分(fēn)光(guāng)幹涉(shè)膜厚計(jì)或使用紅(hóng)外(wài)光的(dí)紅(hóng)外膜厚(hòu)計。另(lìng)一方(fāng)麵(miàn)，這(zhè)些類型的膜(mó)厚計不能(néng)用於不透光的(dí)材料，例(lì)如金屬(shǔ)。

測量金(jīn)屬電(diàn)鍍等(děng)薄(báo)膜(mó)時(shí)，使用(yòng)利用磁(cí)通(tōng)量變化(huà)的(dí)電(diàn)磁式膜厚計和利(lì)用(yòng)渦流(liú)的(dí)渦(wō)流式膜厚(hòu)計。此外(wài)，如(rú)果(guǒ)難(nán)以(yǐ)觸(chù)摸(mō)被測(cè)物(wù)體，也可使用超(chāo)聲(shēng)波塗層(céng)測(cè)厚儀(yí)等(děng)非接觸式(shì)塗層測(cè)厚(hòu)儀。