1.光學位移傳(chuán)感(gǎn)器

采(cǎi)用(yòng)三角測(cè)量作為(wéi)檢(jiǎn)測原(yuán)理(lǐ)的傳(chuán)感(gǎn)器有兩種：一(yī)種是(shì)使用 PSD 作為(wéi)傳感元(yuán)件，另(lìng)一(yī)種(zhǒng)是使用(yòng)圖像傳感器(qì)。

2. 綫(xiàn)性接近(jìn)傳感器

當交流電流過綫圈時(shí)，會(huì)產(chǎn)生磁通量(liáng)，但當交流電流(liú)過金(jīn)屬(shǔ)物(wù)體時，物(wù)體內(nèi)會產(chǎn)生渦(wō)流。該渦流的方向使得(dé)它(tā)產(chǎn)生(shēng)幹擾(rǎo)所產生(shēng)的磁通量(liáng)變化的(dí)磁(cí)通量(liáng)。

結果(guǒ)，綫(xiàn)圈(quān)的(dí)電感發(fā)生變(biàn)化，通過(guò)讀(dú)取(qǔ)電感的變化量，可以測(cè)量(liáng)綫(xiàn)圈與物體(tǐ)之間(jiān)的(dí)距(jù)離位(wèi)移(yí)。

3，超聲(shēng)波(bō)位移傳(chuán)感器(qì)

發(fā)射器用於向目(mù)標(biāo)物體(tǐ)發射超聲(shēng)波，接收器用於(yú)接(jiē)收反(fǎn)射波。該(gāi)方法通(tōng)過測量發射(shè)和(hé)接收超(chāo)聲波之(zhī)間的(dí)時間(jiān)來(lái)計算距(jù)離。