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日本(běn)TORAY東(dōng)麗氧(yǎng)氣分析(xī)儀(yí)半導(dǎo)體用

描(miáo)述(shù):日(rì)本(běn)TORAY東麗氧氣(qì)分析(xī)儀半(bàn)導體用SD-450
氧(yǎng)氣濃(nóng)度(dù)計(jì)
半導體(tǐ)/液(yè)晶(jīng)/電子元件相關(guān)應(yīng)用(yòng)
用於半導體,電(diàn)子元(yuán)件(jiàn)的氧(yǎng)氣分(fēn)析儀

  • 產(chǎn)品型號(hào):SD-450
  • 廠商(shāng)性(xìng)質(zhì):經(jīng)銷商(shāng)
  • 更新時間(jiān):2025-12-25
  • 訪問(wèn)量:874
產品介(jiè)紹/ PRODUCT PRESENTATION
品牌TORAY/東麗應(yīng)用(yòng)領(lǐng)域醫(yī)療(liáo)衛(wèi)生(shēng),化工,電(diàn)子/電池,電(diàn)氣(qì),綜合

日(rì)本(běn)TORAY東(dōng)麗氧(yǎng)氣分析儀(yí)半導體用SD-450

日(rì)本(běn)TORAY東麗(lì)氧氣(qì)分析儀半導體(tǐ)用(yòng)SD-450


測量原理(lǐ)/選型/維護(hù)基礎


氧化鋯氧氣濃(nóng)度(dù)計測量原理

氧化(huà)鋯陶(táo)瓷(cí)的(dí)兩麵(miàn)均(jūn)加工(gōng)有電(diàn)極(jí),有(yǒu)在高溫下(xià)一(yī)側(cè)電極電離氧分(fēn)子(zǐ),另一(yī)側電極(jí)將(jiāng)氧離子(zǐ)還原成(chéng)氧(yǎng)分子的特(tè)性。這種(zhǒng)性(xìng)質(zhì)稱(chēng)為(wéi)離(lí)子傳(chuán)導(dǎo),離子傳導程(chéng)度隨著(zhuó)氧化(huà)鋯(gào)陶瓷兩(liǎng)側氧(yǎng)濃度差(chà)的增(zēng)大而(ér)增大。在此期間,電子(zǐ)在(zài)兩個電極之間交換(huàn),離子傳(chuán)導的程(chéng)度(=氧化鋯陶瓷(cí)兩(liǎng)側(cè)的(dí)氧(yǎng)濃度差)可以被提取為兩(liǎng)個(gè)電極之間的(dí)電(diàn)動勢的(dí)大小。如下(xià)圖所(suǒ)示(shì),根(gēn)據(jù)能(néng)斯特(tè)理論公式可(kě)以得到這(zhè)個電(diàn)動(dòng)勢的穩定值,因(yīn)此(cǐ)東(dōng)麗(lì)氧(yǎng)化鋯傳(chuán)感(gǎn)器可以(yǐ)提供穩(wěn)定可(kě)靠(kào)的氧(yǎng)氣濃度值(zhí)。

使用氧化鋯(gào)氧氣濃度(dù)計的一(yī)般(bān)注意事(shì)項(xiàng)

氧(yǎng)化鋯(gào)氧氣濃(nóng)度計(jì)可在約(yuē) 700℃ 的高(gāo)溫(wēn)下工(gōng)作。因此(cǐ),在(zài)以(yǐ)下情(qíng)況下,可能(néng)無法進(jìn)行測量,並且可能(néng)會(huì)影響傳(chuán)感器的壽命(mìng)。
  • 由(yóu)於氧(yǎng)氣濃度計內部(bù)有(yǒu)電爐,因此不能(néng)在安(ān)裝氣氛為防爆的(dí)區(qū)域使(shǐ)用。

  • 如(rú)果可燃(rán)氣體(如氫(qīng)氣,甲烷,酒(jiǔ)精(jīng),一(yī)氧化(huà)碳等)進入(rù)氧氣計(jì)內部(bù),會(huì)發生燃燒反(fǎn)應,導(dǎo)致測(cè)量誤差。

  • 有(yǒu)機(jī)二氧化矽(用於(yú)密(mì)封劑等)會(huì)導致傳感(gǎn)器劣化。(這(zhè)是傳感器(qì)劣(liè)化的最(zuì)常見原因(yīn)之(zhī)一(yī)。

  • 鹵素(尤其是(shì)氯)會(huì)導致傳感器故障(zhàng)。

  • 如(rú)果(guǒ)一(yī)氧(yǎng)化(huà)碳等熱(rè)值(zhí)較高的物(wù)質間(jiān)歇性地(dì)混入(rù)傳感器(qì)中,則會接收(shōu)熱歷史並導致傳(chuán)感(gǎn)器故障。

  • 如果混入(rù)大(dà)量(liáng)Nox,Sox等(děng)腐蝕性氣體,會導(dǎo)致傳(chuán)感(gǎn)器故障(zhàng)。

  • 氟利昂氣體(tǐ)在高(gāo)溫(wēn)下(xià)可(kě)能會引起分(fēn)離(lí)反應,導致傳感(gǎn)器(qì)劣(liè)化。

  • 水滴,灰塵(chén)和霧氣(qì)可能(néng)會損壞傳感器,縮(suō)短其(qí)使(shǐ)用壽命(mìng)並導(dǎo)致錯誤(wù)。測量(liáng)含(hán)有這些(xiē)氣體的氣(qì)體時,請(qǐng)在將其流(liú)入氧(yǎng)氣(qì)濃(nóng)度計(jì)之前先將(jiāng)其除(chú)去。購(gòu)買(mǎi)前(qián)請(qǐng)咨(zī)詢我(wǒ)們(mén)有關(guān)去(qù)除方法。

選型圖

如果您(nín)在(zài)選擇(zé)型(xíng)號(hào)時遇到(dào)困難,請參考下表。

目(mù)的兼(jiān)容型號(hào)解(jiě)釋其(qí)他(tā)選項
半(bàn)導體(tǐ),液(yè)晶,
電子(zǐ)元(yuán)件(jiàn)
MS-500用於(yú)安(ān)裝(zhuāng)在(zài)半導(dǎo)體製造設(shè)備等上,最(zuì)多(duō)可測量(liáng)8點(diǎn)
LC-450A兼容 ppm 級測量,交流電源類型
  • 活(huó)性(xìng)炭(tàn)過(guò)濾器(qì)

  • 矽(guī)過濾器(qì)

  • 過(guò)濾棉(mián)

LC-450D支(zhī)持(chí)ppm級測(cè)量(liáng),DC電源(yuán)類型(xíng)
LC-860兼(jiān)容 ppb 級測(cè)量(liáng),交流(liú)電源(yuán)類(lèi)型
SD/LD-450真(zhēn)空(kōng)室安裝型(xíng)(用於(yú)設(shè)備集成(chéng))交流電源(yuán)裝置(zhì):DU-450
燒(shāo)成爐/
氮氣(qì)回(huí)流焊(hàn)/
廢(fèi)氣
RF-400具(jù)有(yǒu)氧(yǎng)傳(chuán)感器(qì)保(bǎo)護(hù)功(gōng)能的(dí)烘(hōng)烤爐/回流焊(hàn)專用(yòng)機(jī)
  • 活性炭過(guò)濾器

  • 矽過(guò)濾器

  • 過(guò)濾棉

LC-750H/PC-111內置抽氣泵(bèng),適(shì)用於(yú)中高(gāo)濃度汙濁氣(qì)體(tǐ)
天然氣裝置/
空氣(qì)分(fēn)離
LC-750H中/高濃度通用(yòng)型
LC-750H/PC-110內置抽氣(qì)泵,適(shì)用(yòng)於(yú)中(zhōng)高(gāo)濃度清潔(jié)氣體(tǐ)
LC-750L低濃度通(tōng)用型
LC-750L/PC-120內(nèi)置抽(chōu)氣泵,適用(yòng)於(yú)低(dī)濃度(dù)清潔氣(qì)體
真空沉(chén)積(jī)/
密封爐(lú)/
手(shǒu)套(tào)箱
SD/LD-450分離式(shì)傳(chuán)感(gǎn)器/轉換(huàn)器型(xíng),薄壁(bì)安裝轉(zhuǎn)換器(qì)交(jiāo)流(liú)電源(yuán)裝置:DU-450
食品包裝(zhuāng)LC-450F用(yòng)於充(chōng)氣(qì)後(hòu)取樣檢(jiǎn)查(取樣探(tàn)頭)
  • 活(huó)性炭入(rù)口

  • 頂空進(jìn)樣(yàng)器

LC-750F用(yòng)於充氣後取(qǔ)樣(yàng)檢查(chá)(注射(shè)器)
LF-200用(yòng)於(yú)安裝在(zài)氣(qì)體灌裝(zhuāng)自動(dòng)包(bāo)裝機(jī)上(shàng)
  • 活(huó)性炭(tàn)過(guò)濾(lǜ)器(qì)

  • 過(guò)濾棉(mián)






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