一，晶(jīng)圓前道(dào)製程設(shè)備案例(lì)（薄膜，清洗(xǐ)，CMP，真空(kōng)載(zǎi)台(tái)）

案例 1：12 寸(cùn)單(dān)片晶(jīng)圓濕(shī)法(fǎ)清洗設(shè)備(bèi)（日係(xì)頭(tóu)部(bù)清洗(xǐ)設備廠量(liáng)產機(jī)型）

1. 設備工位痛(tòng)點

   晶圓旋轉(zhuǎn)，清洗擺(bǎi)臂，CUP 升(shēng)降，Pin 針(zhēn)頂(dǐng)升(shēng)多(duō)軸同步(bù)；潔淨真(zhēn)空環境(jìng)
   ，頻繁(fán)開(kāi)關(guān)機(jī)
   ，傳統伺服停(tíng)止(zhǐ)震(zhèn)蕩，開機(jī)必須(xū)回(huí)零(líng)
   ，占(zhān)用(yòng)大量節拍(pāi)；皮帶(dài)擺(bǎi)臂(bì)剛性差(chà)
   ，長(cháng)期運行定位漂移。

2. 東方(fāng)馬達配套產品

• 晶圓旋(xuán)轉主軸(zhóu)：AZX 真空潔(jié)淨(jìng)閉(bì)環步(bù)進(jìn)（免電(diàn)池 ABZO 絕對值編(biān)碼(mǎ)器）

• 清洗擺(bǎi)臂旋(xuán)轉軸(zhóu)：DGⅡ 中(zhōng)空旋(xuán)轉平(píng)台 + AZ 閉環電機

• CUP 升降 / Pin 針(zhēn)頂升：EZ LIMO EZS 一體化(huà)電動缸(gāng)

• 多軸控(kòng)製(zhì)櫃：薄型多(duō)軸 Mini 驅(qū)動器
  ，節(jié)省(shěng)櫃(guì)內 50% 布(bù)綫(xiàn)空(kōng)間

3. 落地改(gǎi)善效果(guǒ)

• 斷(duàn)電yong久(jiǔ)記(jì)憶(yì)原(yuán)點
  ，取消開機回(huí)零工(gōng)序(xù)
  ，單台設備每(měi)日節省 1.2h 工(gōng)時(shí)；

• AZ 自(zì)動開閉環(huán)控(kòng)製(zhì)
  ，皮帶(dài)低剛性(xìng)機(jī)構(gòu)無整定微(wēi)振(zhèn)
  ，清(qīng)洗藥(yào)液塗布(bù)均匀度(dù)提(tí)升；

• 真空低釋氣(qì)專用(yòng)款
  ，無潤(rùn)滑油(yóu)揮發汙(wū)染晶圓(yuán)
  ，良率提升 7%。

案例(lì) 2：CMP 化學(xué)機(jī)械拋(pāo)光(guāng)設備（存儲晶圓拋光生產綫）

1. 痛點(diǎn)：拋光擺臂，修(xiū)整器升降，晶圓載(zǎi)具旋轉(zhuǎn)需要精(jīng)準壓(yā)力(lì)控製(zhì)；多旋轉軸空(kōng)間(jiān)緊(jǐn)湊
   ，傳統伺(sì)服(fú)體(tǐ)積(jī)大(dà)，調試(shì)復雜。

2. 配(pèi)套方案

   DGⅡ 大通孔中空旋轉(zhuǎn)平台(tái)（拋光台主軸(zhóu)）+ AZ 閉(bì)環(huán)步進驅動擺臂，升降電動缸。中空(kōng)通(tōng)孔(kǒng)可(kě)穿(chuān)過(guò)拋(pāo)光液(yè)管路
   ，整機結(jié)構(gòu)大幅(fú)簡(jiǎn)化。

3. 價(jià)值(zhí)

   重復(fù)定位(wèi) ±8 角秒
   ，晶圓薄膜去(qù)除(chú)厚(hòu)度(dù)一(yī)致性穩(wěn)定(dìng)；一(yī)體化(huà)模(mó)組(zǔ)無需外(wài)購(gòu)減速(sù)機(jī)
   ，設備開發(fā)周(zhōu)期(qī)縮短(duǎn) 30%。

案(àn)例 3：真(zhēn)空(kōng)鍍膜(mó) / 刻蝕(shí)設(shè)備(bèi)晶圓微型(xíng)微(wēi)調載台(tái)

1. 痛點：真空腔狹小(xiǎo)
   ，普(pǔ)通(tōng)電機(jī)體積過大(dà)；高真空(kōng)環(huán)境不能有電池，油(yóu)脂揮(huī)發(fā)；微(wēi)米(mǐ)級(jí)微(wēi)調不(bù)能(néng)抖(dǒu)動(dòng)。

2. 產(chǎn)品：AZ 真空潔(jié)淨係列(liè)微型步進（法蘭(lán) φ13mm 最小(xiǎo)規格）
   ，無(wú)油(yóu)脂低(dī)釋氣(qì)結(jié)構(gòu)
   ，機械絕對值無電(diàn)池(chí)。

3. 應(yīng)用(yòng)：腔體(tǐ)內晶(jīng)圓(yuán)預對準(zhǔn)，光(guāng)阻微調(tiáo)；對(duì)比(bǐ)山洋 / 國(guó)產步(bù)進(jìn)
   ，真空(kōng)標準型號(hào)無需(xū)額外(wài)防護套件(jiàn)
   ，長期真空環(huán)境故(gù)障(zhàng)率降(jiàng)低 60%。