技術(shù)文章(zhāng)/ Technical Articles

我的位置(zhì)：首頁 > 技術(shù)文(wén)章(zhāng) > 富士 FUJI TECHNO HYSA-06 超(chāo)高(gāo)壓力三(sān)柱塞計(jì)量泵介紹(shào)

產(chǎn)品分(fēn)類 / PRODUCT

富(fù)士 FUJI TECHNO HYSA-06 超高(gāo)壓力三(sān)柱塞(sāi)計量泵(bèng)介紹(shào)

更新時(shí)間：2026-07-04

瀏覽次數(shù)：51

HYSA（HYS-A）是富士超(chāo)級高(gāo)壓(yā)中流量計(jì)量泵(bèng)係(xì)列(liè)，定(dìng)位高(gāo)於實驗室微(wēi)型 HYM 係(xì)列(liè)，主(zhǔ)打超大壓力，更大(dà)流量(liáng)，連續(xù)中試(shì) / 小規(guī)模量產，HYSA-06 為(wéi)該(gāi)係(xì)列(liè) 6mm 柱(zhù)塞標準(zhǔn)機型。

一(yī)，核(hé)心(xīn)基礎參數（HYSA-06）

表格

參數項(xiàng)	規(guī)格
型號	HYSA-06
柱塞直(zhí)徑	6 mm
最大輸(shū)出流量	0.6 L/min = 600 mL/min
標準(zhǔn)最高耐(nài)壓	980 bar（98 MPa）
計量重復(fù)精(jīng)度	≤±0.1% FS
驅(qū)動(dòng)結構(gòu)	三柱(zhù)塞交錯(cuò)凸(tū)輪(lún)無脈(mài)動(dòng)結構(gòu)
柱塞材質(zhì)	標準硬質(zhì)不(bù)鏽(xiù)鋼，可選陶瓷(cí)柱塞(sāi)
標準泵頭材質(zhì)	SUS316L，哈氏(shì)合(hé)金，鈦材；無標準全 PEEK 非金屬款
粘(nián)度適配(pèi)	1～10000 cps，高粘度漿(jiāng)料 / 膠液(yè)穩(wěn)定(dìng)輸(shū)送
控製方(fāng)式	伺(sì)服電(diàn)機閉環(huán)，4–20mA / RS485 通訊(xùn)對接(jiē) PLC
脈(mài)動(dòng)特性	三柱塞(sāi)交替輸出，脈(mài)動(dòng)極(jí)小，無(wú)需(xū)緩衝罐

同(tóng)品(pǐn)牌係列(liè)流量 / 壓力分(fēn)層對比（HYSA vs HYM）

HYM 係(xì)列（實(shí)驗室微量(liáng)）
HYM-03 最大 15.3mL/min，最高 250bar；HYM-06 最大 61.1mL/min，最(zuì)高(gāo) 200bar；HYM-08 最大 108.6mL/min，最(zuì)高 98bar；僅(jǐn)小流量(liáng)，中(zhōng)低(dī)壓。
HYSA-06（中流量(liáng)超(chāo)高壓(yā)）
600mL/min，980bar 超(chāo)高(gāo)壓(yā)，流(liú)量(liáng)是 HYM-06 近 10 倍(bèi)，壓力是(shì) HYM-06 的 5 倍(bèi)。
同係列拓展：HYSA-08/10/12，流量逐(zhú)級(jí)提(tí)升至(zhì) 2.3L/min，均支持數(shù)百 MPa 高(gāo)壓工況。

二(èr)，核心(xīn)結構與du有(yǒu)優勢

1. 980bar 超(chāo)高耐(nài)壓(yā)，行業稀缺(quē)微量(liáng)高(gāo)壓方案(àn)

HYM 全係最高僅(jǐn) 250bar，HYSA-06 直接做到 98MPa，適配超高(gāo)壓微通(tōng)道(dào)，高壓加(jiā)氫(qīng)，超(chāo)臨(lín)界流體，高(gāo)壓晶圓(yuán)塗層(céng)等ji端壓(yā)力(lì)工藝(yì)，是富(fù)士(shì)產品(pǐn)綫高壓主(zhǔ)力(lì)機型(xíng)。

2. 三(sān)柱塞無脈(mài)動精密輸送(sòng)

zhuan利(lì)分(fēn)段凸輪驅動(dòng)，三根柱塞連(lián)續交替吸(xī)排，流(liú)量輸出(chū)平(píng)穩，管路無(wú)衝(chōng)擊(jī)微氣(qì)泡；高(gāo)壓工(gōng)況下(xià)膜(mó)厚(hòu)，配比，霧化效果高度一致，提(tí)升(shēng)半導體(tǐ) / 化(huà)工良率(shuài)。

3. 大流(liú)量輸送能力(lì)，適配(pèi)中試(shì)量產(chǎn)

單台(tái) 600mL/min，無(wú)需多(duō)台(tái) HYM 並聯，簡化管(guǎn)路，伺(sì)服同(tóng)步係統，節省(shěng)無塵(chén)車間(jiān)設(shè)備(bèi)占地，適(shì)合(hé)連續(xù) 24h 中試產(chǎn)綫(xiàn)。

4. 高(gāo)粘度(dù)，高固(gù)含(hán)量漿料適配能(néng)力(lì)強(qiáng)

6mm 大柱(zhù)塞吸(xī)入截(jié)麵大，機械強製柱塞(sāi)回程，高(gāo)粘(nián)度光刻(kè)膠，PI，拋光(guāng)漿(jiāng)料(liào)，導電漿(jiāng)料(liào)不(bù)會吸料(liào)不(bù)足(zú)，流量(liáng)衰減。

5. 全金屬耐(nài)腐蝕泵頭，適(shì)配(pèi)強腐(fǔ)蝕(shí)高壓介質

接液部(bù)可選哈氏合(hé)金(jīn)，鈦材(cái)，耐(nài)高氯(lǜ)離子蝕(shí)刻液，強酸(suān)電鍍液，強(qiáng)氧(yǎng)化性拋光液；陶瓷柱塞(sāi)耐磨(mó)，輸(shū)送含顆(kē)粒 CMP 漿(jiāng)料使(shǐ)用(yòng)壽命更長(cháng)。

6. 流量(liáng)綫性不(bù)受壓力，粘度幹擾

全(quán)量程(chéng)轉速與(yǔ)流(liú)量(liáng)嚴(yán)格(gé)綫(xiàn)性(xìng)，即便(biàn)出口(kǒu)壓(yā)力接近 980bar，介質粘(nián)度大(dà)幅波動，輸出流量(liáng)偏差(chà)仍控(kòng)製(zhì)在 ±0.1% 以內(nèi)，工藝參(cān)數可長期固(gù)化。

上一篇(piān)：富(fù)士(shì)HYSA-06半(bàn)導(dǎo)體及(jí)gao端電(diàn)子核心應(yīng)用場景
下一(yī)篇：富(fù)士計量泵HYM-08 在半導體(tǐ)量產(chǎn)綫核(hé)心優勢(shì)