熱傳(chuán)導真空(kōng)計是(shì)一種(zhǒng)基於氣體熱(rè)傳(chuán)導特性(xìng)測量(liáng)真(zhēn)空(kōng)度的相對真(zhēn)空計，其(qí)核心(xīn)原理是利用(yòng)氣(qì)體(tǐ)熱傳(chuán)導(dǎo)能(néng)力(lì)隨(suí)壓力(lì)變(biàn)化的規律，通過檢測熱(rè)源(yuán)的溫度(dù)或(huò)能量變(biàn)化(huà)間(jiān)接(jiē)反映(yìng)被(bèi)測空間的(dí)壓力。
工(gōng)作(zuò)原理(lǐ)
在(zài)一定(dìng)壓力(lì)範圍內（通(tōng)常(cháng)為粗真空(kōng)到中真(zhēn)空），氣體的(dí)熱(rè)傳導能力(lì)與壓(yā)力密(mì)切(qiē)相關：
當(dāng)壓(yā)力(lì)較(jiào)高時，氣體(tǐ)分子(zǐ)密度(dù)大(dà)，分子間碰(pèng)撞(zhuàng)頻(pín)繁，熱傳導能力強(qiáng)，熱(rè)源(yuán)（如(rú)加熱絲）的熱量(liáng)容易(yì)被氣體帶(dài)走，溫度較低；
當壓(yā)力降(jiàng)低時(shí)，氣體分(fēn)子(zǐ)密度(dù)減(jiǎn)小，熱傳導能力減弱，熱源(yuán)散熱變慢(màn)，溫度(dù)升高(gāo)。
通(tōng)過(guò)測量(liáng)熱源的溫(wēn)度變化（或因溫(wēn)度變(biàn)化(huà)導(dǎo)致(zhì)的(dí)物理特(tè)性(xìng)變化，如電阻(zǔ)），即可(kě)換(huàn)算出對(duì)應的真空(kōng)度。
主要類型
根據(jù)測(cè)量(liáng)熱源特性變化(huà)的(dí)方式不同，常見(jiàn)類型有：
電(diàn)阻(zǔ)式熱導(dǎo)真(zhēn)空計
核(hé)心(xīn)元(yuán)件(jiàn)是一根細金屬(shǔ)絲（如鎢絲，鉑絲），通過恒定(dìng)電(diàn)流加熱。
金屬絲的(dí)電阻隨(suí)溫(wēn)度變化（利用(yòng)其電(diàn)阻溫度(dù)係(xì)數(shù)），壓力(lì)變化(huà)導致絲(sī)溫變(biàn)化(huà)，進而引起電(diàn)阻(zǔ)變化(huà)，通過(guò)測(cè)量電阻值可(kě)間接得到壓(yā)力。
熱電(diàn)偶式(shì)熱導真空(kōng)計
由加(jiā)熱絲(sī)和(hé)熱電(diàn)偶組成，加(jiā)熱絲通恒定電(diàn)流產生(shēng)熱量，熱電偶直(zhí)接測量加熱絲(sī)的溫度。
壓力變(biàn)化(huà)導(dǎo)致(zhì)加熱(rè)絲溫度變(biàn)化(huà)，熱電偶將溫(wēn)度(dù)信(xìn)號(hào)轉換為(wéi)電動勢信號，通過電動(dòng)勢(shì)大(dà)小(xiǎo)反(fǎn)映(yìng)壓(yā)力(lì)。
特點與(yǔ)適(shì)用(yòng)範圍(wéi)
測量範圍：主(zhǔ)要(yào)用(yòng)於測量粗(cū)真空（10⁵ Pa）至(zhì)中真空（10⁻¹ Pa），超(chāo)出此範(fàn)圍後(hòu)，熱(rè)傳導與(yǔ)壓(yā)力(lì)的(dí)綫性關係減弱，測量(liáng)誤差增大。
優(yōu)勢：結(jié)構簡單，成(chéng)本(běn)低，響應速度較(jiào)快(kuài)，適(shì)合(hé)動態(tài)真空測(cè)量。
局(jú)限(xiàn)：屬(shǔ)於相對(duì)真空(kōng)計(jì)，需用(yòng)絕對(duì)真(zhēn)空(kōng)計校準(zhǔn)；測(cè)量(liáng)結果(guǒ)受氣體(tǐ)種類(lèi)，環(huán)境(jìng)溫度等(děng)因素影(yǐng)響（不同氣(qì)體熱(rè)傳導係(xì)數不同(tóng)）。
熱傳(chuán)導真空計(jì)廣泛(fàn)應(yīng)用(yòng)於真(zhēn)空(kōng)鍍膜，真(zhēn)空幹燥(zào)，真空(kōng)冶金(jīn)等工業領(lǐng)域，作為低精度真空測量的(dí)常規(guī)工具。