許多(duō)三(sān)維(wéi)形狀測量機采(cǎi)用白光幹(gān)涉(shè)技術(shù)。白(bái)光幹(gān)涉(shè)法是(shì)一種利用(yòng)白(bái)光(guāng)幹涉(shè)儀(yí)的測(cè)量方(fāng)法(fǎ)。光學(xué)幹涉是(shì)光從物體表麵到某一(yī)點(diǎn)的距離存在(zài)差(chà)異時(shí)發(fā)生(shēng)的現象。光學幹(gān)涉(shè)儀(yí)利(lì)用這(zhè)一(yī)現象(xiàng)，用(yòng)於(yú)測量表(biǎo)麵(miàn)不(bù)規則(zé)性(xìng)等。

由於光(guāng)的(dí)幹(gān)涉(shè)，因(yīn)樣(yàng)品(pǐn)表麵不平整而(ér)產生的(dí)光程差，呈現(xiàn)出(chū)條紋(wén)狀圖(tú)案。條紋的數量表示樣品表麵不(bù)平整的(dí)高(gāo)度。實際操作中，使用內置(zhì)參考鏡（稱為幹(gān)涉鏡(jìng)）的物鏡(jìng)，將白(bái)光(guāng)照射到參(cān)考鏡(jìng)和(hé)物鏡(jìng)上，上(shàng)下移動物鏡的同(tóng)時用(yòng)相機觀(guān)察幹涉信(xìn)號。

一些相(xiāng)機還(huán)配有(yǒu)高(gāo)靈敏度 CMOS。 CMOS是一種(zhǒng)將(jiāng)通(tōng)過(guò)鏡頭進(jìn)入的光轉(zhuǎn)換為電信號(hào)的半(bàn)導體。采用(yòng)CMOS的固體攝像(xiàng)元(yuán)件(jiàn)，可以在拍攝形狀(zhuàng)的同時拍(pāi)攝(shè)外觀照(zhào)片(piàn)，從而可以(yǐ)同時(shí)進(jìn)行表麵觀察和測量。分(fēn)析(xī)結(jié)果(guǒ)被轉換成3D模(mó)型(xíng)等數據，可以使用(yòng)CAD進行查看。