物(wù)質(zhì)受到(dào)短(duǎn)波(bō)長X射(shè)綫(xiàn)照射(shè)而二(èr)次(cì)產生的(dí)X射(shè)綫稱為熒光X射(shè)綫。正如(rú)太陽光包含(hán)各(gè)種波長(cháng)的(dí)光一樣，X射綫熒(yíng)光(guāng)包含各(gè)種波長的(dí)X射綫，但在(zài)波長和強度(dù)光(guāng)譜中(zhōng)存在(zài)許多尖銳(ruì)的峰值。這(zhè)些是(shì)材料(liào)中(zhōng)元(yuán)素發(fā)射(shè)的特征 X 射綫(xiàn)的(dí)峰值。

當原(yuán)子的(dí)電(diàn)子(zǐ)殼層受(shòu)到(dào)高能(néng)（短波(bō)長）X射(shè)綫(xiàn)照(zhào)射(shè)時，內(nèi)層電(diàn)子(zǐ)被(bèi)彈(dàn)出(chū)並移(yí)動到(dào)外(wài)殼(ké)層(céng)，形成(chéng)不穩定狀態。為(wéi)了(liǎo)解(jiě)決(jué)這(zhè)種(zhǒng)情(qíng)況，電子(zǐ)從外部移(yí)動到空的(dí)內(nèi)殼(ké)中(zhōng)，波長與兩個殼層(céng)之間(jiān)的(dí)能(néng)量差相(xiāng)對(duì)應的X射(shè)綫(xiàn)就成為(wéi)特征X射綫(xiàn)。

通(tōng)過每(měi)種特征(zhēng)X射綫(xiàn)的(dí)du特(tè)波長(cháng)可(kě)以識別(bié)元(yuán)素，並可(kě)以(yǐ)根據其強(qiáng)度確定(dìng)元(yuán)素的含(hán)量。