傾(qīng)斜(xié)傳(chuán)感器(qì)是(shì)一種通過(guò)在物體(tǐ)傾斜(xié)時(shí)產生(shēng)電(diàn)輸出(chū)來檢測(cè)物(wù)體(tǐ)傾斜的裝置(zhì)。由於(yú)傾(qīng)斜(xié)可能沿一軸，二(èr)軸(zhóu)和(hé)三(sān)軸發(fā)生(shēng)，因此根(gēn)據(jù)要檢測的傾斜軸的數量(liáng)選擇(zé)傾斜傳感(gǎn)器(qì)非(fēi)常(cháng)重要(yào)。

此外，近(jìn)年來，傾(qīng)斜傳感(gǎn)器已從常用(yòng)的在檢測(cè)到傾斜時打(dǎ)開和(hé)關(guān)閉(bì)的開(kāi)關型(xíng)傳感器(qì)轉(zhuǎn)變為結(jié)合傳感技術的傳感器(qì)。傾斜傳感器的(dí)傾斜檢(jiǎn)測方法包括電(diàn)解質型(xíng)和(hé)MEMS型(xíng)，這兩種方(fāng)法從一開始就被使(shǐ)用(yòng)。近年來，MEMS方(fāng)法(fǎ)在精(jīng)度(dù)和響應時(shí)間方麵(miàn)已成為主流。

1.電解(jiě)質傾斜傳(chuán)感(gǎn)器(qì)（電容(róng)傾斜傳(chuán)感(gǎn)器(qì)） 

電(diàn)解(jiě)質(zhì)型傾斜傳感器利用(yòng)液體表(biǎo)麵始(shǐ)終(zhōng)水平的(dí)特性，並通過(guò)電容的(dí)變(biàn)化(huà)來檢測液體(tǐ)的傾(qīng)斜。具體而言，將(jiāng)電解液（導電性液體）封入(rù)到具(jù)有長度的(dí)一(yī)半程度的深(shēn)度(dù)的空腔的筒(tǒng)體內(nèi)，並且(qiě)將在長(cháng)度方向上(shàng)相對的(dí)電(diàn)極板密封。

換(huàn)句話(huà)說，相(xiāng)應的電極大(dà)約(yuē)其(qí)一(yī)半長度(dù)浸入(rù)電(diàn)解質(zhì)中(zhōng)。當(dāng)圓(yuán)柱(zhù)體沿(yán)其(qí)長度傾(qīng)斜(xié)，同(tóng)時在(zài)電(diàn)極板之間施(shī)加電壓時，空(kōng)腔中(zhōng)的電(diàn)解質保(bǎo)持(chí)水平，導(dǎo)致(zhì)浸(jìn)入(rù)液(yè)體中(zhōng)的(dí)相對電極部分的差異(yì)，電路中(zhōng)的(dí)內阻(zǔ)發生變化(huà)。 。電解質(zhì)傾(qīng)斜傳感(gǎn)器的傾斜檢(jiǎn)測(cè)是(shì)通(tōng)過(guò)檢(jiǎn)測該電路的內阻變化(huà)並將其轉換為角(jiǎo)度來執(zhí)行的。

但缺(quē)點(diǎn)是響應時(shí)間(jiān)比較(jiào)慢，液位容(róng)易(yì)受振動影(yǐng)響。電解質(zhì)傾(qīng)斜(xié)傳(chuán)感器可以通過(guò)布置兩(liǎng)對(duì)彼此垂(chuí)直(zhí)的(dí)檢測(cè)電(diàn)極來(lái)檢測(cè)兩(liǎng)個(gè)軸上的(dí)傾斜(xié)。

2. MEMS（微(wēi)機電係(xì)統）傾斜傳(chuán)感器

MEMS傾斜傳(chuán)感(gǎn)器是(shì)利(lì)用微機(jī)電(diàn)係(xì)統技(jì)術(shù)的(dí)傾斜(xié)傳(chuán)感(gǎn)器。通過(guò)因(yīn)傾斜(xié)而導(dǎo)致(zhì)的(dí)部件彎曲來檢(jiǎn)測傾(qīng)斜(xié)，從(cóng)而產生(shēng)電(diàn)輸出。 MEMS傾(qīng)斜傳感器(qì)具有固定在主(zhǔ)體內部(bù)的(dí)一(yī)對(duì)固定電(diàn)極(jí)以(yǐ)及(jí)由彈簧支(zhī)撐在該(gāi)對(duì)固定(dìng)電(diàn)極之間(jiān)的(dí)可動(dòng)電(diàn)極。

當MEMS傾(qīng)斜(xié)傳感器(qì)繞固定電(diàn)極(jí)和可(kě)動(dòng)電極的支撐(chēng)方(fāng)向傾斜(xié)時，固(gù)定電(diàn)極不(bù)移動(dòng)而(ér)可動電極(jí)沿(yán)傳(chuán)感(gǎn)器傾斜的方向(xiàng)移動。即(jí)，各(gè)固定電極與可動電極之(zhī)間的(dí)電(diàn)容發(fā)生變(biàn)化。 MEMS 傾斜傳感(gǎn)器的(dí)機(jī)製是檢(jiǎn)測電(diàn)容(róng)的變化並(bìng)將(jiāng)其轉(zhuǎn)換為(wéi)角(jiǎo)度(dù)。

通(tōng)過(guò)將可(kě)移動電極垂(chuí)直於(yú) XY 方向(xiàng)放置並將每個(gè)電(diàn)極(jí)夾(jiā)在一(yī)對固定(dìng)電極之(zhī)間(jiān)，可(kě)以檢測兩個軸的(dí)傾(qīng)斜。

3.其他方法(fǎ)

傾(qīng)斜(xié)傳感器(qì)中使(shǐ)用(yòng)的其他方法包括擺(bǎi)錘(chuí)和石英(yīng)。

擺式傾斜(xié)傳感(gǎn)器(qì)

擺(bǎi)錘型(xíng)傾斜(xié)傳感器在(zài)主(zhǔ)體內部具(jù)有(yǒu)擺錘(chuí)和(hé)磁阻元(yuán)件(jiàn)等檢(jiǎn)測部(bù)。擺(bǎi)錘傾(qīng)斜(xié)傳(chuán)感器檢測(cè)主(zhǔ)體傾(qīng)斜時擺(bǎi)錘運動(dòng)引起的(dí)磁(cí)場變(biàn)化(huà)，並(bìng)將其(qí)計(jì)算為(wéi)傾斜角度。

晶(jīng)體傾斜(xié)傳(chuán)感器(qì)

晶(jīng)體傾(qīng)斜傳感(gǎn)器(qì)是(shì)一(yī)種(zhǒng)利用晶體振蕩器特性(xìng)的高靈(líng)敏度(dù)傾斜傳感器(qì)。由晶(jīng)體(tǐ)製成的(dí)懸(xuán)臂(bì)和(hé)保持部在(zài)一端(duān)彼(bǐ)此(cǐ)相對地(dì)固定，並且電(diàn)極設置在(zài)懸(xuán)臂和(hé)保持(chí)部的(dí)每一個上。

當傳感器(qì)傾(qīng)斜(xié)時，保持部(bù)分不(bù)會彎曲(qū)，而懸(xuán)臂會(huì)彎曲。當(dāng)懸臂(bì)彎(wān)曲時，電(diàn)極板之(zhī)間的(dí)距離(lí)發生(shēng)變(biàn)化，電(diàn)容(róng)也發生(shēng)變(biàn)化(huà)，而晶體傾斜(xié)傳(chuán)感器(qì)的機(jī)製(zhì)是測量電容(róng)作(zuò)為頻(pín)率(shuài)的變化。電容到頻(pín)率的轉(zhuǎn)換(huàn)是通(tōng)過將傾(qīng)斜傳感器(qì)與(yǔ)晶體振蕩(dàng)器(qì)和振蕩電路相結合來實(shí)現的(dí)。