步進(jìn)曝光機是(shì)一種(zhǒng)使用(yòng)步進(jìn)重復方法(fǎ)進行(háng)曝光的(dí)投影(yǐng)曝光設備(bèi)。將曝光區域分成幾個小部分(fēn)並(bìng)一次性曝光這些區域(yù)。曝(pù)光完成後，移(yí)動到下(xià)一個(gè)區域並(bìng)進(jìn)行另(lìng)一(yī)次曝(pù)光。這稱為(wéi)步(bù)進(jìn)重復方法(fǎ)，因為(wéi)該區域被移動(dòng)（步進(jìn)）並(bìng)重復曝光(guāng)（重復(fù)）。

UV照射設備(bèi)一(yī)般(bān)采(cǎi)用(yòng)超(chāo)高壓汞燈作(zuò)為(wéi)光源。當(dāng)在晶片(piàn)或(huò)玻(bō)璃(lí)基板上形(xíng)成電路(lù)時，通過(guò)用(yòng)紫外綫(xiàn)照射(shè)圖案化(huà)的光(guāng)掩模，將圖案(àn)轉(zhuǎn)移(yí)到塗有抗蝕劑(jì)的(dí)基材上(shàng)。
曝光所需的光(guāng)綫(xiàn)要(yào)求(qiú)均匀度(dù)高，角(jiǎo)度控(kòng)製精確(què)，輸(shū)出(chū)高(gāo)。為(wéi)了滿足這個(gè)要(yào)求(qiú)，我(wǒ)們使用短弧燈(dēng)，它(tā)是幾(jī)千瓦(wǎ)到幾十千瓦(wǎ)的(dí)光源，並(bìng)通(tōng)過許(xǔ)多光(guāng)學元件將橢(tuǒ)圓鏡聚焦的(dí)強(qiáng)紫(zǐ)外光(guāng)照射到光掩模上(shàng)。