什(shí)麼(mó)是真空計？

真空(kōng)計是測量(liáng)一定(dìng)空(kōng)間(jiān)內(nèi)真空度的傳(chuán)感(gǎn)器。

根據用途(tú)，選擇(zé)分壓真空(kōng)計(jì)或全(quán)壓真空計。此外，測(cè)量方法有多(duō)種，可(kě)測(cè)量(liáng)的(dí)真(zhēn)空(kōng)範(fàn)圍根(gēn)據(jù)這(zhè)些差異而(ér)變化。

真空(kōng)計的(dí)應用(yòng)實(shí)例

真(zhēn)空(kōng)空(kōng)間通常(cháng)用於需(xū)要(yào)高(gāo)清潔度(dù)的製(zhì)造(zào)場所(suǒ)，因為可(kě)以(yǐ)zui大(dà)程(chéng)度(dù)地減(jiǎn)少包括水分(fēn)在內的雜(zá)質。其中，真(zhēn)空計安裝在與需要真(zhēn)空達(dá)到(dào)控(kòng)製的室和(hé)石(shí)英管連(lián)接(jiē)的(dí)流(liú)體回(huí)路中。

真(zhēn)空計(jì)通(tōng)常(cháng)安裝在半(bàn)導體製造設(shè)備的(dí)等(děng)離(lí)子蝕(shí)刻空(kōng)間(jiān)以(yǐ)及冶金，有機合(hé)成(chéng)等實(shí)驗設(shè)備(bèi)中(zhōng)。它還(huán)用(yòng)於需要表(biǎo)麵清(qīng)潔(jié)度(dù)的(dí)場合，例如離(lí)子(zǐ)束設(shè)備，氣相沉(chén)積設(shè)備以及其(qí)他(tā)需(xū)要表麵(miàn)清潔度(dù)的(dí)應(yīng)用。

真空計原(yuán)理

真(zhēn)空計(jì)的類(lèi)型和(hé)測量原理有(yǒu)很(hěn)多(duō)種。真(zhēn)空(kōng)計成(chéng)功測(cè)量少(shǎo)量氣(qì)體分(fēn)子的動(dòng)量(liáng)，並(bìng)將其(qí)轉(zhuǎn)換為氣體(tǐ)密度和空間(jiān)真(zhēn)空度。zui流行(háng)的真空(kōng)計(jì)類型是皮拉尼真空(kōng)計(jì)。

皮(pí)拉尼真空計是(shì)一(yī)種電(diàn)阻式(shì)真(zhēn)空計(jì)，可根據氣(qì)體(tǐ)與(yǔ)攜(xié)帶(dài)電(diàn)流的(dí)鉑(bó)絲(sī)碰(pèng)撞時(shí)損(sǔn)失的熱能(néng)計算出(chū)電流(liú)，然(rán)後根據(jù)該值(zhí)計(jì)算出壓力。其機(jī)製(zhì)是，這(zhè)一微(wēi)小(xiǎo)壓力(lì)直接(jiē)對應(yīng)於(yú)真空度(dù)。